レーザーテック、新型EUVパターンマスク欠陥検査装置を製品化 高感度でスループット大幅向上
Update: 2025-11-05
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「レーザーテック、新型EUVパターンマスク欠陥検査装置を製品化 高感度でスループット大幅向上」 レーザーテックは、ウエハーファブでEUVEマスク品質管理の生産性を大幅に向上させる、アクティニックEUVパターンマスク欠陥検査装置「ACTIS A200HiTシリーズ」を製品化した。
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